非球面形狀的誤差測量

Abstract

散射板干涉儀是一個穩定性相當高的共光徑干涉儀，極適合於做為凹面鏡的測試。因 為決定對應於待測面表面形狀干涉條紋的光程差變化量與散射板的離軸量（defocus ）成正比，若針對待測面上某一點而言，只要將散射板移動三次，即可由在該點處的 四次強度變化值而求出在該點的形狀誤差。在論文中，結合了這高度穩定性的干涉儀 與新近發展出的電腦影像系統，提出了一個不需要標準面即可測量非球面誤差的新方 法。