砷化鎵與銦砷化鎵光導開關的製作與特性量測

Abstract

光導開關具有結構簡單，易於積體化，且在低偏壓下，擁有高速時域響應等優點。所 以在近年來引起廣泛的注意。 在本論文中，討論了半絕緣性砷化鎵及甸砷化鎵╱砷化鎵異質接面磊晶光導開關的製 作及研究成果，證實了利用銦砷化鎵╱砷化鎵界面間晶格不匹配特性，提高載子複合 中心數目的觀念，確實可獲得較快的時域響應。 除此，我們以非線性光電相關法測量電脈衝的寬度亦獲得了初步的成功確定了此技術 不須考慮色散及反射的效應，即可精確地測量電脈衝寬度的優點。