集積電感器之設計､製造及分析

Abstract

本論文中，首先回顧電感器的物理特性，包括電感的成因及電感值的計算公式。我 們使用π形集總等效電路作為測量的理論基礎，並研製校準儀器用的標準於晶片上 ，使測量誤差儘可能減至最小。 二次場量和鄰近效應併入等效電路，得到計算及實驗數據的適度契合。尤其電感值 與繞線電阻之頻率相關模型的建立，可以準確計算電感值與繞線電阻。此外，關於 基體電容和電阻的行為，我們也提出定性且一致的解釋。 我們也提出和製造許多不同圖案和結構的電感器。在相同晶片面積下，雙層金屬結 構之電感器比單層金屬結構之電感器多３∼４倍之電感值。