| 標題: | 以低溫超高真空化學汽相沈積法所製元件特性 Characterization of devices fabricated by low temperature UHV/CVD |
| 作者: | 韓良愷 HAN, LIANG-KAI 張俊彥 ZHANG, JUN-YAN 電子研究所 |
| 關鍵字: | 低溫超高真空化學;相沈積法;元件特性 |
| 公開日期: | 1991 |
| URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT802430065 http://hdl.handle.net/11536/56100 |
| 顯示於類別： | 畢業論文 |
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