溶膠-凝膠法製備PLZT薄膜及特性研究

Abstract

本論文是研究以溶膠－凝膠法來製作鐵電性PLZT薄膜。比起其他薄膜製程方式，溶膠 －凝膠法具有經濟、簡便、易於控制成份等優點。在實驗中，以醋酸鉛、硝酸欄及鐺 、太的有機金屬化合物為起始物，以2－甲氧基乙醇為溶劑，配製成澄清的前驅物溶液 ，並利用旋轉鍍膜的方式在不同的基板上製做薄膜。在導電性基板方面是在矽晶片上 鍍上金或白金為電極；在絕緣性基板中是在氧化鋁、氧化鎂、太酸思及玻璃上製 做PLZT薄膜。不同性質的基板，其製程條件略有不同。在論文中，對於燒結的溫度、 燒結的時間以及氣氛的控制均有詳細的探討；適當的基板選用，升降溫速率和溶液黏 度的控制將可避免薄膜的裂縫產生。不同的儀器設備亦被用研究此PLZT薄膜的特性。