標題: 疊形結構及低溫氮氣預先退火製程在極大型積體電路上的應用
A Stacked Structure and Low-Temperature N2 Pre-annealing Process for ULSI Applications
作者: 吳協霖
李崇仁
雷添福
電子研究所
公開日期: 1991
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430029
http://hdl.handle.net/11536/56482
顯示於類別:畢業論文