疊形結構及低溫氮氣預先退火製程在極大型積體電路上的應用

標題:	疊形結構及低溫氮氣預先退火製程在極大型積體電路上的應用 A Stacked Structure and Low-Temperature N2 Pre-annealing Process for ULSI Applications
作者:	吳協霖李崇仁雷添福電子研究所
公開日期:	1991
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT804430029 http://hdl.handle.net/11536/56482
Appears in Collections:	Thesis