標題: 利用即時功率監測裝置作半導體雷射低反射率(10 )膜之實驗及理論
Experimental and numerical studies of anti-reflection coating on laser facets with in-situ monitoring
作者: 李晉東
LI, JIN-DONG
戴國仇
ZAI, GUO-CHOU
電子物理系所
關鍵字: 即時功率;監測裝置;半導體;雷射;低反射率
公開日期: 1992
摘要: 在許多光電元件上,半導體雷射之抗反射膜扮演重要角色。在本論文中,我們做了 半導體雷射抗反射膜之研究,包含數值計算及實驗。數值計算提供抗反射膜折射率 及厚度的訊息。在實驗上,我們使用熱蒸鍍機蒸鍍氧化矽(SiO□) 。為了得到較理 想的折射係數,可以經由改變真空室的氧含量而改變膜的折射係數。在蒸鍍過程中 ,雷射的偏壓高於臨界電流,光二極體放置於雷射附近用來接收雷射發出之光,反 射率的訊息可經由雷射光大小得知,其原因是經由分析速率方程式而知。實驗的結 果與數值計算是一致的。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT812429004
http://hdl.handle.net/11536/57263
顯示於類別:畢業論文