以二氧化錫為氣體感測材料之特性探討

Abstract

本論文之目的即在研究以二氧化錫為氣體感測材料的薄膜製作及特性分析 ，並研製一與ＣＭＯＳ製程相容和利用矽微細加工技術製作的低成本､高 產量及高功率的二氧化錫氣體感測元件。文中從元件結構的設計、氣體感 測的原理到實驗的量測均做詳細說明。實驗結果可知，由濺鍍法所製作之 二氧化錫對氫氣、甲烷及一氧化碳在不同的溫度各有很好的靈敏度。 This paper is discussing the fabrication and characteristics analysis of tin dioxide thin film as a gas sensing material .A low cost and low power consumption gas sensor is fabricated by the silicon micromachining technique which is compatible with the standard CMOS process.From the experimental measurements , the sputtered tin dioxide thin film has good sensitivity to hydrogen ,methane and carbon monoxide gases at different temperature.