標題: | 以射頻磁控式濺鍍法製備鈦酸鋯鉛(PZT)薄膜 Preparation of PZT thin films by magnetron RF sputtering |
作者: | 朱聰明 Zhu, Cong Ming 林鵬 Lin, Peng 材料科學與工程學系 |
公開日期: | 1994 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT832159012 http://hdl.handle.net/11536/59676 |
顯示於類別: | 畢業論文 |
標題: | 以射頻磁控式濺鍍法製備鈦酸鋯鉛(PZT)薄膜 Preparation of PZT thin films by magnetron RF sputtering |
作者: | 朱聰明 Zhu, Cong Ming 林鵬 Lin, Peng 材料科學與工程學系 |
公開日期: | 1994 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT832159012 http://hdl.handle.net/11536/59676 |
顯示於類別: | 畢業論文 |