熱動式雙層板微小致動器

Abstract

微小機電系統是近來頗熱門的領域之一，本篇研究之目的在於利用半導體 製程技術研製出熱動式雙層板微小致動器，此致動器可設計成微小震動 達與流量控制器，若鍍上一層鋁在此致動器上，即為可多方向大角度轉動 之微小反射鏡，應用於光學用途及眼角膜開刀術。此致動器之原理乃利用 兩接合相異材料雙層板經加熱後，因熱膨脹係數 變形現象，若結合四根 長樑於致動器四周，並配合形狀上 i利用電流加熱長樑使之彎曲變形，達 成大角度多方向轉動或垂直移動之動作。由於在半導體製程技術中有許多 限制異於傳統機械加工，所以必須考量製程之特性與限制作出較可行之設 計並研製出此致動器。電腦分析也將應用於此致動器之特性分析，利用有 限元素分析軟體 ANSYS51馱屁鰼騏S性與作動方式，並作為設計與尺寸之 參考依據。