改良式離散事件監督器合成與控制器設計方法

Abstract

本論文針對離散事件系統的控制問題，提出一個實際的解決方法。首 先我們回顧離散事件系統的控制理論，並介紹我們所採用的泛用型雙層式 控制架構。接下來分別針對雙層式控制架構中的監督器與控制器設計問題 ，提出改良式的方法。相對於以狀態轉換為本位的設計方法，我們提出狀 態為本位的規格詮釋法與相關的演算法，並顯著的降低問題的複雜度，使 得監督器可以用有效率且系統化的合成方法獲得。在本論文中我們以一半 導體機台，快速熱程序處理器，的監督器合成為例，將我們的合成方法運 用在這個共有 210000 個狀態的系統上，並且驗證其運算效率。除此之外 ，在控制器的設計方面，以物件導向方式發展的互動式電腦輔助設計環境 ，能引導設計者加入完善的例外處理，並且避免產生違反監督器規格的設 計，使得控制器設計的速度更加提升。 In this thesis, we propose a practical solution for the control problem ofdiscrete event systems. First, the control theory of discrete event systems is reviewed and a general- purpose two-tiered control structure is introduced. Based on that structure, a modified method to design the controller and supervisor is presented. A state-based specification interpretation method andassociated solution algorithm are proposed. These are different from the transition-based methods. As a result, the complexity of the problem is highlyreduced and the supervisor can be synthesized efficiently and systematically. The proposed method are applied to the supervisory controller design of an RTP( Rapid Thermal Processor ) machine in semiconductor manufacturing. A CAD environment based on object-oriented programming is also developed to speed- upthe design process.