標題: 三電極矽電容式壓力感測器及光纖反射式測微器
Three-Electrode Silicon Capacitive Pressure Sensor
作者: 黃國貞
Hwang, Gwo-Jen
張國明
Chang Kow-Ming
電子研究所
關鍵字: 壓力感測器;測微器;pressure sensor;displacement micrometer
公開日期: 1997
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT860428025
http://hdl.handle.net/11536/63007
顯示於類別:畢業論文