標題: | 三電極矽電容式壓力感測器及光纖反射式測微器 Three-Electrode Silicon Capacitive Pressure Sensor |
作者: | 黃國貞 Hwang, Gwo-Jen 張國明 Chang Kow-Ming 電子研究所 |
關鍵字: | 壓力感測器;測微器;pressure sensor;displacement micrometer |
公開日期: | 1997 |
URI: | http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT860428025 http://hdl.handle.net/11536/63007 |
顯示於類別: | 畢業論文 |