三電極矽電容式壓力感測器及光纖反射式測微器

标题:	三电极矽电容式压力感测器及光纤反射式测微器 Three-Electrode Silicon Capacitive Pressure Sensor
作者:	黄国贞 Hwang, Gwo-Jen 张国明 Chang Kow-Ming 电子研究所
关键字:	压力感测器;测微器;pressure sensor;displacement micrometer
公开日期:	1997
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT860428025 http://hdl.handle.net/11536/63007
显示于类别：	Thesis

APA	黄., Hwang, G., 张., & Chang K. (1997). 三电极矽电容式压力感测器及光纤反射式测微器. http://hdl.handle.net/11536/63007.
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