新建晶圓製造廠擴廠階段投料模式之構建

Abstract

晶圓製造製造可能是現今最複雜的製造型態之一。一般而言，有幾點因素使得晶圓 廠的生產規劃和排程特別的困難。這些因素包括: 複雜的生產流程( 如再回流 )、 良率不穩定、機台複雜特性、設備高當機率、共用機台及資料的有效性等[Uzsoy,L ee and Martin-Vega，1992] 。當晶圓廠在擴廠(ramp-up) 階段時，其產能是逐步 的增加，而此時為了迎合市場的需求，使得生產線的產品組合變動的很頻繁，尤其 是代工廠更是如此。上述的這些原因使得生產管理更加困難，所以一個適合這種狀 況的投料方法是非常重要的。 在本論文中，我們提出一個以模擬為基礎的投料模式，以解決擴廠階段晶圓廠的投 料問題。透過這個模式我們可以決定投料時點及投料順序。此模式包含以下三個子 模組: 瓶頸定義模組、投料優先順序衡量模組、及投料決策模組。利用製造執行系 統所提供的現場資訊，投料優先順序可以動態的由投料架構來加以決定。我們所使 用的績效準則為總產出、週期時間、在製品數量及瓶頸機台利用率。實驗的結果顯 示此一投料模式比其它適合擴廠階段的投料方法有較好的績效。