螯合劑對Sol-Gel備製PZT薄膜的影響

Abstract

以傳統法備製PZT 的先驅物，經常在配製時產生乳白色沉澱。溶劑中的醋酸/ 水的 比例，對於備製PZT 的先驅物有顯著的穩定效果。為了避免乳白色沉澱，以反序法 (Inverse Mixing Order)備製PZT 的薄膜，反序法中水/PZT的莫耳比例超過2 時， 可以合成保持數月均澄清且穩定的溶液。 實驗發現不同的黎合劑如乙二醇、甲醯氨、甘油、及乙醯丙酮對於PZT 薄膜的厚度 、微結構、電性扮演重要的角色。在熱處理程序一的最佳電性出現在添加甲醯氨。 而熱處理程序二的最佳電性出現在添加甘油。再者添加甘油可以得到最厚且不裂的 PZT 薄膜。