半導體製造廠蝕刻區內電腦人機介面之確認

Abstract

半導體製造廠現場作業員使用的電腦人機介面設計是影響作業績效的重要原因之一，攸關產品品質及良率，因此必須要對作業員所使用的介面事先做確認的工作，以防因介面設計不佳而導致錯誤的發生，本研究以半導體製造廠蝕刻區內的電腦人機介面為對象，利用系統化的方式發展一套確認的工具-人因工程確認查核表，且實際進行介面設計的確認，確認的範圍包括作業支援性及人因工程設計規範符合性。 本研究確認工具的發展首先針對半導體廠作業員作業內容做作業分析，以瞭解其在利用人機介面執行作業時，所需要的資訊及顯示等等元素，並作為確認介面設計是否支援作業需求的依據，接著引進人因工程設計規範，包括SEMI S8-95及NUREG-0700，當做查核介面設計是否符合人因工程設計規範的標準，最後建立一系統化結構性的查核表進行實際現場確認。 研究成果包括建立出一套以作業分析為基礎，針對半導體製造廠內電腦人機介面進行作業支援性及人因工程設計規範符合性二項確認工作的人因工程確認查核表。並且找出現有系統的問題與不符合人因工程原則之處，提出改善方案及對策，供半導體製造廠商改善及未來在選購相關介面的參考依據，以期減少人為操作錯誤率，提高半導體廠作業員的效率與產能，最後促使半導體製造廠內電腦人機介面的設計能完全符合人因工程設計的要求。

The human-computer interface which operators of the semiconductor fab use is very important. If there is any operation error, the consequence will cause a lot of loss. It is necessary to verify the design of interface which operators use in advance to prevent errors for the reason of inadequate design. Then we can get the advice for improvement, and low down the chance of error. This paper makes the detail task analysis of operators in the etching section, and get the relative human factors guidelines to be items of a checklist according to the result of task analysis. Then build the checklist be a tool of verification to verify HCI in fab including task support and Human factor engineering design verification. Definitely, We found much inadequate design in HCI. It means the HCI in Semi Fab need more human factors engineering effort to improve its' design.