利用分子篩為擔體製備吸附劑以去除空氣中NH3氣體之研究

Abstract

NH3氣體是半導體製程中引起良率下降之重要空降分子污染物之一，而常用於無塵室中之陶瓷濾材須依賴國外進口，因此如何自製改良濾材為一重要之課題。本研究主要目的為製備不同種類之分子篩吸附擔體，並分別進行以金屬及酸化改質前處理，以達到延長使用壽命與提高去除效率之目的，同時進行氨氣進流濃度、相對溼度對氨氣去除效率之影響，最後再進行物化特性分析與吸附容量測試。 研究結果發現，在改質不同矽鋁比下之MCM-41，其對氨氣之去除效果以矽鋁比為50的吸附材吸附量最大。而各項吸附材吸附效能以Y沸石最好，ZSM-5與Al-MCM-41(50)其次、而Si-MCM-41及MSP則因較不具表面官能基而效果較差。在經過銅金屬、檸檬酸改質後之吸附材去除效率與飽和吸附量均較未改質之吸附材高，而以含浸法披覆銅金屬時以硝酸銅濃度為0.05M含浸時之去除效果最佳，而以離子交換披覆銅金屬則以重複三次硝酸銅濃0.05M時最佳；當以含浸法塗敷檸檬酸時，以0.05M濃度浸泡最佳。此外研究結果發現進流濃度越高則去除效能越好，且相對溼度之提高亦可提升其去除效率。