晶圓出貨檢驗流程之標準化及電腦系統之構建

Abstract

晶圓製造為所有現今科技產業之根源，競爭亦最為激烈，而晶圓品質的好壞，也就成為晶圓製造廠是否具有競爭力的關鍵因素，因此晶圓製造廠商都急欲提昇生產產品的品質與產量，以滿足各戶需求。在追求產能的極大化與穩定的產品良率時，除不斷精進製程技術外，亦大量使用自動化技術，唯對於晶圓出貨外觀檢驗部分，由於相關設備無法精確判斷與分類產品屬性，仍需大量使用人工作業方式，因此產品出貨檢驗作業往往成為最大的生產瓶頸與人力成本所在。再者透過人工作業紀錄之產品生產履歷，工程師在審視目前產線狀況或進行產品分析作業時，無法快速將所有的生產履歷原始資料整理出有效可判讀的資訊，往往錯失問題解決的時效性。因此，本研究之主要目的即是針對半導體廠之晶圓出貨檢驗作業，進行流程分析、簡化並做合理的調整，進而將作業程序標準化、將作業環境流線化，並依此建構出一套能連接產品出貨系統及前製程之有完整檢驗紀錄的生產資訊系統。本研究所發展之晶圓出貨檢驗電腦作業系統，能完整地串聯產品所有製造資訊，因此可大幅提高生產作業之效率。本研究最後以新竹科學園區某半導體公司的實例，驗證本論文所建構的晶圓出貨檢驗電腦系統確實有效。