應用田口方法於TFT LCD Spacer spray製程之最佳參數設計

Abstract

TFT LCD面板生產過程中，間隙子散佈製程易發生散佈不良之缺失，例如聚集、密度差太大、平均密度不佳、最大最小值超過界限、CV值過大…等。這些不良與散佈時間、feeder轉速、槽電壓、chamber排氣壓等製程參數有密切之關係，通常TFT LCD業界當有新產品投入時，一般都是以經驗法則或試誤法來決定製程之最佳參數，其過程費時且不保證可獲得最佳製程參數。 本研究以田口品質工程的方法改善間隙子散佈製程，應用直交表與信號雜訊比方法來求得製程最佳化之參數，將影響間隙子散佈的4個控制因子散佈時間、feeder轉速、槽電壓、chamber排氣壓，以L9直交表進行實驗，在雙重品質目標(平均密度與密度差)目標望小，找出最佳參數水準組合，最後以本研究建議之最佳化參數，有效的降低間隙子散佈之rework ratio，達到提升產能之目的。