應用於無線感測網路之超低耗能無線微感測模組的設計與製作---子計畫三：智慧型微感測元件之研究(I)

Abstract

本計畫為整合型計畫中的子計畫三—智慧型微感測元件之研究，負責在超低耗能無 線微型感測模組中對於微感測器的設計與製作。本計畫分三年執行主要以微機電技術設 計製作完成紅外線溫度感測器、溼度感測器及整合型加速度計等三個主要元件，其中紅 外線溫度感測器及溼度感測器已在第一年完成初步的設計與製作，在未來第二、三年執 行摘要如下所述： 第二年計畫摘要： 第二年的計畫中預計完成兩項主要工作，第一是針對將紅外線溫度感測器加以延伸 整合光子晶體的濾波功能，利用光子晶體對光線有限制的效果，依照人體或其它待測物 體具有之特定波長做規格設計以進行感測。第二則是利用熱傳導的方式設計與製作一個 加速度計，利用非接觸式、非破壞性的方式對低G 值的加速度進行感測。 另藉由各子計畫整合而得之規格，配合模擬與驗證設計出低損耗功率的感測元件， 以微機電製程技術陸續完成各項元件並對個別元件進行功能測試，利用完成後之元件並 進行功能驗證。最後藉由與各子計畫之討論，以進行後續設計與製程修正。 第三年計畫摘要： 第三年的工作則是進行整體系統的整合工作，將完成之各項微機電感測元件、訊號 處理模組、電力系統等利用覆晶封裝的技術組裝完成智慧型微感測系統晶片，並進行系 統特性分析，如果有需要，我們可以根據微感測元件之需要進行規格與設計修正。