X-Ray及電子束(E-Beam)直接微影技術在多層導體連線上的應用研究(II)

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	施敏	en_US
dc.contributor.author	SZE SIMON MIN	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:30:06Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:30:06Z	-
dc.date.issued	2005	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC94-2215-E009-011	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/89965	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1143857&docId=219370	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.title	X-Ray及電子束(E-Beam)直接微影技術在多層導體連線上的應用研究(II)	zh_TW
dc.title	Study on X-Ray and E-Beam Direct Patterning Technology for Multilevel Interconnect Applications(II)	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學電子工程系	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫

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