CMOS玻璃蓋片視覺檢測系統與瑕疵分類方法之研究(I)

Abstract

光學玻璃蓋片為CMOS 封裝時，裝置於CMOS 上方之玻璃材質，有保護CMOS 之 功用，由於光線必須穿透這層玻璃才能到達CMOS 晶片，故這片玻璃之透明度與均質 度必須非常高，才不致影響成像效果。玻璃蓋片主要會發生之瑕疵包括，刮傷、裂痕、 氣泡、可移動之灰塵、不可移動之灰塵、油酯、有機物污染與水紋…等，這些瑕疵會影 響玻璃之均質度與透光度，導致封裝後的CMOS 成像出現缺陷。 目前業界多是以人工目視對玻璃蓋片進行抽檢，受限於人眼的最小可辨識能力約 20μm，較難配合5μm 之檢測精度需求。且人工目視容易失誤且耗時過久，勢必無法滿 足市場顧客對於品質一致性的要求。本研究計畫將設計適當光源與取像機構，配合自 行開發之AOI(Automatic optical inspection)軟體演算法，架構出完整的自動視 覺檢測系統。 本計畫的目的，在發展出一套適用於CMOS 玻璃蓋片瑕疵自動視覺檢測的方法，本方 法能檢測出玻璃蓋片所可能會發生的瑕疵，以取代目前之人工目視檢測作業，改善目 前人工檢測所不足的檢測精度，並提昇檢測速度與減少誤判率，達到100%全檢之理想 目標。