标题: | ALD 在 Damascene 铜制程应用之研究(II) The Application of ALD on Damascene Cu Metallization(II) |
作者: | 陈智 Chen Chih 交通大学材料科学与工程系 |
公开日期: | 2004 |
官方说明文件#: | NSC93-2623-7009-003 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/90888 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=911995&docId=172348 |
显示于类别: | Research Plans |
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