标题: ALD 在 Damascene 铜制程应用之研究(II)
The Application of ALD on Damascene Cu Metallization(II)
作者: 陈智
Chen Chih
交通大学材料科学与工程系
公开日期: 2004
官方说明文件#: NSC93-2623-7009-003
URI: http://hdl.handle.net/11536/90888
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=911995&docId=172348
显示于类别:Research Plans


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  1. 9326237009003.pdf

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