Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.author巫木誠en_US
dc.contributor.authorWU MUH-CHERNGen_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:31:40Z-
dc.date.available2014-12-13T10:31:40Z-
dc.date.issued2004en_US
dc.identifier.govdocNSC93-2213-E009-082zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/91094-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1007017&docId=189783en_US
dc.description.abstract檔控片(或稱測試片)是半導體廠用來監控製程品質的晶圓。檔控片經過酸 槽清洗回收之後,可依其潔淨度再使用或降級下游的工作站使用。過去文獻大多 研究檔控片降級的最適決策,以節省檔控片的整廠用量。然而,如何藉由改善各 工作站檔控片清洗回收的良率,以節省檔控片的用量,則甚少探討。半導體廠內 使用檔控片的工作站很多,每個工作站都有檔控片清洗回收的問題。在預算有限 的狀況下,如果要改善清洗回收的良率,應該優先改善哪些工作站,以最小化整 廠檔控片的用量,則尚未有文獻探討。本研究計畫擬構建此決策問題的數學模 型,並發展求解方法。本研究擬以「基因演算法」及「邊際分配法」求解此問題, 並且比較此兩方法求解之效率與品質。zh_TW
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject檔控片zh_TW
dc.subject測試片zh_TW
dc.subject良率改善zh_TW
dc.title半導體廠檔控片清洗回收良率規劃zh_TW
dc.titleYield Improvement Planning for Test Wafers in Semiconductor Manufacturingen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department國立交通大學工業工程與管理學系zh_TW
Appears in Collections:Research Plans


Files in This Item:

  1. 932213E009082.pdf

If it is a zip file, please download the file and unzip it, then open index.html in a browser to view the full text content.