半導體廠檔控片清洗回收良率規劃

Abstract

檔控片（或稱測試片）是半導體廠用來監控製程品質的晶圓。檔控片經過酸 槽清洗回收之後，可依其潔淨度再使用或降級下游的工作站使用。過去文獻大多 研究檔控片降級的最適決策，以節省檔控片的整廠用量。然而，如何藉由改善各 工作站檔控片清洗回收的良率，以節省檔控片的用量，則甚少探討。半導體廠內 使用檔控片的工作站很多，每個工作站都有檔控片清洗回收的問題。在預算有限 的狀況下，如果要改善清洗回收的良率，應該優先改善哪些工作站，以最小化整 廠檔控片的用量，則尚未有文獻探討。本研究計畫擬構建此決策問題的數學模 型，並發展求解方法。本研究擬以「基因演算法」及「邊際分配法」求解此問題， 並且比較此兩方法求解之效率與品質。