標題: | 利用高效能熱製程改善低溫複晶矽薄膜電晶體之電性表現 The Performance of Poly-Si TFT was Improved by High Performance Thermal Process |
作者: | 馮明憲 交通大學材料科學與工程研究所 |
公開日期: | 2004 |
官方說明文件#: | NSC93-2215-E009-038 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/91428 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1026710&docId=195186 |
顯示於類別: | 研究計畫 |