標題: 利用高效能熱製程改善低溫複晶矽薄膜電晶體之電性表現
The Performance of Poly-Si TFT was Improved by High Performance Thermal Process
作者: 馮明憲
交通大學材料科學與工程研究所
公開日期: 2004
官方說明文件#: NSC93-2215-E009-038
URI: http://hdl.handle.net/11536/91428
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1026710&docId=195186
顯示於類別:研究計畫