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| 奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列,其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫二:電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(II) | 112 |
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