標題: | 集束型化學氣相沉積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作(Ⅱ) The Development of Software Simulator and Trainer of Chemical Vapor Deposition Equipment for Cluster Tool Manufacturing(II) |
作者: | 李安謙 LEE AN-CHEN 交通大學機械工程系 |
公開日期: | 2004 |
官方說明文件#: | NSC93-AT-7009-001 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/91724 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=912040&docId=172361 |
顯示於類別: | 研究計畫 |