高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(II)

標題:	高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(II) The Development of High-Speed Magnetic-Bearing Suspended Turbo Molecular Pump (II)
作者:	李安謙 LEE AN-CHEN 國立交通大學機械工程學系
公開日期:	2003
官方說明文件#:	NSC92-2212-E009-020
URI:	http://hdl.handle.net/11536/91832 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=877049&docId=168251
顯示於類別：	研究計畫

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