| 標題: | 複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用(III)---子計畫III：MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究 Study of Low Temperautre MILC Poly-Si Film and Its Application on Novel Strucutre Small Dimensional TFTs |
| 作者: | 張俊彥 CHANG CHUN-YEN 國立交通大學電子工程學系 |
| 公開日期: | 2003 |
| 官方說明文件#: | NSC92-2215-E009-013 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/92110 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=873412&docId=167318 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
文件中的檔案：
若為 zip 檔案，請下載檔案解壓縮後，用瀏覽器開啟資料夾中的 index.html 瀏覽全文。
