複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用(III)---子計畫III：MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究

Files

922215E009013.pdf (138.67 KB)

Date

Authors

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=873412&docId=167318
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92110

Collections

研究計畫;;Research Plans