標題: 多晶矽壓阻式力感測器之設計、製作及測試研究(I)
Design, Fabrication and Testing of Poly-Si Piezoresistive Micro Force Sensors (I)
作者: 黃宇中
HUANG YU-CHUNG
國立交通大學電子工程學系
公開日期: 2003
官方說明文件#: NSC92-2218-E009-011
URI: http://hdl.handle.net/11536/92277
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=874718&docId=167674
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