標題: | 高速磁浮渦輪分子真空幫浦之開發(I) The Development of High-Speed Magnetic-Bearing Suspended Turbo Molecular Pump (I) |
作者: | 李安謙 LEE AN-CHEN 交通大學機械工程系 |
公開日期: | 2002 |
官方說明文件#: | NSC91-2212-E009-044 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/92804 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=771004&docId=147389 |
顯示於類別: | 研究計畫 |