| 標題: | 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫I:12吋矽晶圓CVD製程設備的加熱及成長BST薄膜之進氣系統設計與反應爐系統整合(III) Design of Heating Assembly and Gas Feeding Unit for BST Thin Film Growth and Integration of CVD Reactor System for a 12-inch Single Silicon Wafer (III) |
| 作者: | 林清發 LIN TSING-FA 交通大學機械工程研究所 |
| 公開日期: | 2002 |
| 官方說明文件#: | NSC91-2212-E009-039 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/92872 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=783002&docId=150397 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
