| 標題: | 矽化鎳在超大型積體電路之應用研究 Material Properties and Process Technology of Ni-silicide Relevant to ULSI Applications |
| 作者: | 陳茂傑 國立交通大學電子工程學系 |
| 公開日期: | 2000 |
| 官方說明文件#: | NSC89-2215-E009-102 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/93864 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583882&docId=109705 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
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