壓電阻應力計之製程研究

標題:	壓電阻應力計之製程研究 A Study on the Fabrication Processes of Piezoresistive Stress Sensor
作者:	陸續 LU SU 交通大學電子工程系
關鍵字:	壓電阻應力感測器;製程;Piezoresistive stress sensor;Process
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2215-E009-072
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93879 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=543009&docId=99834
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