SBT鐵電薄膜製備與特性的分析(III)

標題:	SBT鐵電薄膜製備與特性的分析(III) Fabrication and Properties of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Filmse (III)
作者:	曾俊元 TSEUNG-YUENTSENG 交通大學電子工程系
關鍵字:	鐵電薄膜;濺鍍;疲勞;Ferroelectric film;Sputtering;Fatigue
公開日期:	2000
官方說明文件#:	NSC89-2112-M009-020
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93962 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=499050&docId=89772
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