金屬氧化物後段主動元件技術開發

標題:	金屬氧化物後段主動元件技術開發 Development of Active BEOL Metal-Oxide Device Technologies
作者:	林鴻志 LIN HORNG-CHIH 國立交通大學電子工程學系及電子研究所
公開日期:	2014
官方說明文件#:	NSC102-2221-E009-097-MY3
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94164 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8105597&docId=428334
Appears in Collections:	Research Plans