| 標題: | 子計畫IV：超高真空化學氣相沈積低溫複晶矽薄膜電晶體之鈍化與可靠度的研究 |
| 作者: | 詹世雄 國立交通大學毫微米實驗室 |
| 關鍵字: | 複晶矽;薄膜電晶體;鈍化;可靠度;Polysilicon;Thin film transistor;Passivation;Reliability |
| 公開日期: | 1999 |
| 官方說明文件#: | NSC88-2215-E317-010 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/94168 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444393&docId=80487 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
