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| 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫Ⅱ：BST 介電薄膜在12吋矽晶圓上快速熱回火製程中熱物理性質及熱應力之研究(II) | 116 |
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| 12吋矽晶圓半導體CVD製程設備及BST介電薄膜成長研究---子計畫Ⅱ：BST 介電薄膜在12吋矽晶圓上快速熱回火製程中熱物理性質及熱應力之研究(II) | 0 | 0 | 0 | 2 | 1 | 0 | 0 |
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