8吋矽晶圓半導體LPCVD製程設備之研發---子計畫I：LPCVD製程設備之加熱及進氣系統設計、流場模擬與系統整合及建立(III)

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DC 欄位	值	語言
dc.contributor.author	林清發	en_US
dc.contributor.author	LIN TSING-FA	en_US
dc.date.accessioned	2014-12-13T10:36:59Z	-
dc.date.available	2014-12-13T10:36:59Z	-
dc.date.issued	1999	en_US
dc.identifier.govdoc	NSC88-2218-E009-002	zh_TW
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11536/94315	-
dc.identifier.uri	https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=419317&docId=74448	en_US
dc.description.sponsorship	行政院國家科學委員會	zh_TW
dc.language.iso	zh_TW	en_US
dc.subject	進氣系統	zh_TW
dc.subject	晶圓	zh_TW
dc.subject	熱傳導	zh_TW
dc.subject	催化劑	zh_TW
dc.subject	熱傳遞	zh_TW
dc.subject	反應器	zh_TW
dc.subject	Gas feeding system	en_US
dc.subject	Wafer	en_US
dc.subject	Thermal conductivity	en_US
dc.subject	Precursor	en_US
dc.subject	Heat transfer	en_US
dc.subject	Reactor	en_US
dc.title	8吋矽晶圓半導體LPCVD製程設備之研發---子計畫I：LPCVD製程設備之加熱及進氣系統設計、流場模擬與系統整合及建立(III)	zh_TW
dc.title	Heating and Gas Feeding System Design, Flow Simulation, Design and Establishment of a LPCVD Process Equipment (III)	en_US
dc.type	Plan	en_US
dc.contributor.department	交通大學機械工程系	zh_TW
顯示於類別：	研究計畫

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