壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II)

Date

Authors

Keywords

溼式化學沈積法 , 多層式電極 , 壓電薄膜 , 致動元件 , 接合 , 鈦鋯酸鉛 , Wet-chemical deposition , Multilayer electrode , Piezoelectric thin film , Actuator , Bonding , Lead zirconate titanate (PZT)

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94369

Collections

研究計畫;;Research Plans