壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II)

Title:	壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II) Processing of Microactuator Decice Using Piezoelectric Thin Films (II)
Authors:	陳三元 CHEN SAN-YUAN 交通大學材料科學與工程研究所
Keywords:	溼式化學沈積法;多層式電極;壓電薄膜;致動元件;接合;鈦鋯酸鉛;Wet-chemical deposition;Multilayer electrode;Piezoelectric thin film;Actuator;Bonding;Lead zirconate titanate (PZT)
Issue Date:	1999
Gov't Doc #:	NSC88-2218-E009-011
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94369 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367
Appears in Collections:	Research Plans

APA	陳., & CHEN S. (1999). 壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II). https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367.
Bibtex	@article{1999, title={壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II)}, author={陳三元 and CHEN SAN-YUAN}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367}, year={1999}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94369}, }