壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II)

標題:	壓電薄膜式微致動元件材料與製程研究(II) Processing of Microactuator Decice Using Piezoelectric Thin Films (II)
作者:	陳三元 CHEN SAN-YUAN 交通大學材料科學與工程研究所
關鍵字:	溼式化學沈積法;多層式電極;壓電薄膜;致動元件;接合;鈦鋯酸鉛;Wet-chemical deposition;Multilayer electrode;Piezoelectric thin film;Actuator;Bonding;Lead zirconate titanate (PZT)
公開日期:	1999
官方說明文件#:	NSC88-2218-E009-011
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94369 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=443882&docId=80367
顯示於類別：	研究計畫