以HVPE成長之氮化鎵單晶基板的攙雜研究

標題:	以HVPE成長之氮化鎵單晶基板的攙雜研究 Research on the Dopant in GaN Substrate Grown by HVPE
作者:	施敏 SZE SIMON MIN 交通大學電子工程系
關鍵字:	氮化鎵;氫化物磊晶成長;摻雜;藍光發光二極體;基板;GaN;HVPE;Dopant;Blue LED;Substrate
公開日期:	1998
官方說明文件#:	NSC87-2215-E009-068
URI:	http://hdl.handle.net/11536/94914 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=409119&docId=72438
顯示於類別：	研究計畫

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