標題: | 單晶CVD薄膜和熔化成長法製程中之不穩定熱流與使其穩定之研究---子計畫四:垂直布氏爐單晶熔化成長製程中的流體運動及熱傳之數值研究(I) Investigation of Flow Field and Heat Transfer during Crystal Growth in Vertical Bridgman Configuration by Numerical Simulation(I) |
作者: | 曲新生 CHU, HSIN-SEN 國立交通大學機械工程研究所 |
關鍵字: | 單晶成長;布氏爐;雙重擴散;熱傳遞;質量傳遞;Crystal growth;Vertical bridgman;Double diffusion;Heat transfer;Masstransfer |
公開日期: | 1996 |
官方說明文件#: | NSC85-2212-E009-033 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/95783 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=230697&docId=41962 |
Appears in Collections: | Research Plans |