| 標題: | 同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二：同步輻射X光光罩製作 |
| 作者: | 蘇翔 國立交通大學電子工程學系 |
| 公開日期: | 1996 |
| 官方說明文件#: | NSC85-2745-P009-001 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96028 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=223377&docId=40053 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
| 標題: | 同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二：同步輻射X光光罩製作 |
| 作者: | 蘇翔 國立交通大學電子工程學系 |
| 公開日期: | 1996 |
| 官方說明文件#: | NSC85-2745-P009-001 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/96028 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=223377&docId=40053 |
| 顯示於類別： | 研究計畫 |
