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dc.contributor.author郭雙發en_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:39:09Z-
dc.date.available2014-12-13T10:39:09Z-
dc.date.issued1996en_US
dc.identifier.govdocNSC85-2215-E009-059zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/96150-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234635&docId=43073en_US
dc.description.abstract本研究係延續以往的專題計畫:"離子植入蒙 地卡羅程式之向量化",及"波茲曼傳輸方程式法 在積體電路製程模擬上的應用"而提出.在蒙地 卡羅程式中,因為各個離子的行徑彼此獨立相 互不相干,非常適合於向量化及平行計算,吾人 並且已有初步的成果,今後將在幾個重點上再 作深入的研究,以便得到更好的平行計算效果. 首先是亂數產生器的平行化,使每一處理器均 能獨立地工作,而各處理器間的亂數不至相關聯及重疊.其次是將吾人所發展的局部電子能 量損失模式對不同能量及入衝參數的繁雜積分 計算予以平行化.在波茲曼傳輸方程式法方面, 吾人將首先就現有的程式架構重新安排,將各 動量狀態間轉移離子個數的計算,予以平行化. 尤其是將程式中需要大量使用數值積分的部份 進行平行計算.此外對於各種原子際電位模式 的散射截面積的數值積分算亦予以平行化.本 計畫中,吾人所要使用的工具是平行虛擬機,它是一種利用網路連接,可將多臺工作站同時進 行分散式計算的軟體.zh_TW
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.subject離子植入zh_TW
dc.subject蒙地卡羅模擬zh_TW
dc.subject波茲曼傳輸方程式法zh_TW
dc.subject平行計算zh_TW
dc.subject亂數產生器zh_TW
dc.subject平行虛擬機zh_TW
dc.subjectIon implantationen_US
dc.subjectMonte Carlo simulationen_US
dc.subjectBoltzmann transport equationen_US
dc.subjectParallel computingen_US
dc.subjectRandom number generatoren_US
dc.subjectPVMen_US
dc.title製程模擬中離子植入程式的平行化zh_TW
dc.titleParallelization of Ion Implantation Programs in Process Simulationsen_US
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department國立交通大學電子工程學系zh_TW
顯示於類別：研究計畫


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