橢圓偏極儀及折射儀

Title:	橢圓偏極儀及折射儀 Ellipsometry and Refractometry
Authors:	趙于飛國立交通大學光電工程研究所
Keywords:	橢圓儀;折射率;多角反射量測;Ellipsometry;Optical constant;Multiangle reflectance
Issue Date:	1995
Abstract:	傳統之折射儀是將平行入射面-Ep,垂直入射面-Es之亮度比換算成物質之折射率.依我們以前的亮度比橢圓儀的量測發現僅tan .PHI.可量得準而cos(Delta)則不易測得準.一般利用多角反射量測待測物的折射率即根據平行亮度及垂直亮度比反推出的,故亮度比之橢圓儀可作同樣之量測而無須精確的對光.本計畫即欲建立此兩法之關係並量測玻璃的折射率以資拓展作其他量測之基礎.
Gov't Doc #:	NSC84-2112-M009-014
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96555 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=174112&docId=29734
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