標題: | 橢圓偏極儀及折射儀 Ellipsometry and Refractometry |
作者: | 趙于飛 國立交通大學光電工程研究所 |
關鍵字: | 橢圓儀;折射率;多角反射量測;Ellipsometry;Optical constant;Multiangle reflectance |
公開日期: | 1995 |
摘要: | 傳統之折射儀是將平行入射面-Ep,垂直入射 面-Es之亮度比換算成物質之折射率.依我們以 前的亮度比橢圓儀的量測發現僅tan .PHI.可量得 準而cos(Delta)則不易測得準.一般利用多角反射 量測待測物的折射率即根據平行亮度及垂直亮 度比反推出的,故亮度比之橢圓儀可作同樣之 量測而無須精確的對光.本計畫即欲建立此兩 法之關係並量測玻璃的折射率以資拓展作其他 量測之基礎. |
官方說明文件#: | NSC84-2112-M009-014 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/96555 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=174112&docId=29734 |
顯示於類別: | 研究計畫 |