標題: 橢圓偏極儀及折射儀
Ellipsometry and Refractometry
作者: 趙于飛
國立交通大學光電工程研究所
關鍵字: 橢圓儀;折射率;多角反射量測;Ellipsometry;Optical constant;Multiangle reflectance
公開日期: 1995
摘要: 傳統之折射儀是將平行入射面-Ep,垂直入射 面-Es之亮度比換算成物質之折射率.依我們以 前的亮度比橢圓儀的量測發現僅tan .PHI.可量得 準而cos(Delta)則不易測得準.一般利用多角反射 量測待測物的折射率即根據平行亮度及垂直亮 度比反推出的,故亮度比之橢圓儀可作同樣之 量測而無須精確的對光.本計畫即欲建立此兩 法之關係並量測玻璃的折射率以資拓展作其他 量測之基礎.
官方說明文件#: NSC84-2112-M009-014
URI: http://hdl.handle.net/11536/96555
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=174112&docId=29734
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