銻砷化鋁混合晶體拉曼光譜研究

Abstract

AlAs/sub 1-x/Sb/sub x/是InP系列中能隙最寬的半 導體材料,具有高肖特基能、低折射係數的優 點,是適合于光電元件之應用.但其鋁及銻含量 過高樣品準備不易,基本物理性質研究極度缺 乏.本實驗室經過過去數年持續的努力,是世界 上少數能合成AlAsSb薄膜之研究群.在計畫中擬 對AlAs/sub x/Sb/sub 1-x/半導體進行一系列拉曼光 譜研究.建立此一新材料不同組成成分的拉曼 頻譜強度、頻移、頻寬等基本資料.並確定 AlAsSb之聲子振動行為模式屬性.因在磊晶過程 中,Al原子極易與O原子氧化反應,造成結構缺陷, 我們亦將藉此檢查其與拉曼光譜之相關性.