鑽石膜合成技術及其工業應用研究---子計畫五：電漿CVD法合成鑽石及類鑽石薄膜之研究

Title:	鑽石膜合成技術及其工業應用研究---子計畫五：電漿CVD法合成鑽石及類鑽石薄膜之研究 Synthesis of Diamond and Diamond Like Film Using Plasma Chemical Vapor Deposition
Authors:	陳家富 CHEN CHIA-FU 國立交通大學材料科學工程研究所
Issue Date:	1995
Gov't Doc #:	NSC84-2221-E009-036
URI:	http://hdl.handle.net/11536/96783 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=161177&docId=26824
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