場發射元件之模擬

Abstract

場發射元件由於其於平板顯示器與微波元 件之潛在應用價值,近年來於國內開始研究.場 發射元件之工作與效能受其元件結構形狀影響 甚大,欲掌握該元件之設計及製造技藝,必須要 有一能模擬其結構形狀與電性關係之模擬器. 本計畫之目的即擬建構一此模擬器.擬建構之 模擬器,係一由依元件之結構形狀,解其電場分 布,再依電荷傳導性理論求得元件電流與電壓 關係.本模擬器係由數值方法解得上述電流,電 壓關係故為一完全真值解之模擬器.於上述模 式建立與求解過程中,吾人亦將考慮一些如溫 度效應□空間電荷調諧效應等.吾人並擬將以 所建構完成之模擬器對一此特殊形狀結構電極之場發射元件作一模擬,冀求得製作場發射元 件之最佳電極設計.